五、使用方法
SHSZ82型数字式四探计测试仪能够测量普通电阻器的电阻（V/I之比，不乘系数）、体电阻率、薄片电阻率、扩散层的方块电阻，（后三项需乘上不同的系数）。
1. 操作概述：
⑴测试准备：将220V电源插头插入电源插座，电源开关置于断开位置，工作选择开关置于“短路”位置，电流开关处于弹出切断位置。
将测试架的插头与主机的输入插座连接起来，松开测试架立柱处的高度调节手轮，将探头调到适当位置和高度，测试样品应进行喷砂和清洁处理，放在样品架上，使探针能与其表面良好接触，并保持一定压力；调节室内温度使之达到要求的测试条件。
⑵测量：
将电源开关置于开启位置，数字显示亮，仪器通电预热1小时。
极性开关拨至上方，工作状态选择开关置于“测量”，拨动电流量程开关和电压量程开关，置于样品测量所适合的电流、电压量程范围，电流调节电位器调到适合的电流值（方法见“注意事项”），调节电压表的粗调和细调调零，使数字显示为“0000”，按下电流开关输出恒定电流，即可由数字显示板和单位显示灯直接读出测量值。如果数字出现闪烁，则表示测量值已超过此电压量程，应将电压量程开关拨到更上等；读数后切断电流开关，数字显示将恢复到零位。在仪表处于高灵敏电压档时要经常检查零位。再将极性开关拨至下方（负极性），按下电流开关，从数字显示板和单位显示灯可以读出负极性的测量值；将两次测量获得的电阻率值取平均，即为样品在该处的电阻率值。
测量电阻、方块电阻时，可以按表1所示的电压、电流量程进行选择。
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电流\电阻\电压
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0.2mV
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2mV
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20mV
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200mV
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2V
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100Ma
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2mΩ
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20mΩ
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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10mA
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20mΩ
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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1mA
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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2kΩ
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100μA
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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2kΩ
|
20kΩ
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10μA
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20Ω
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200Ω
|
2kΩ
|
20kΩ
|
200kΩ
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表1 电阻及薄层电阻测量时电压、电流量程选择
测量电阻率时，预估的样品电阻率范围和应选择的电流范围对应关系如表2所示。
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电阻率范围（Ω-cm）
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电流档
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<0.012
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100mA
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0.008-0.6
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10mA
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0.4-60
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1MA
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40-1200
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100μA
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>800
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10μA
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表2 测量电阻率所要求的电流值
根据国家标准及仪器性能，从保证测试精度考虑，在电阻率测试时，推荐用户采用以下电流、电压量程组合，见表3所示。
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电流\电阻率\电压
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0.2mV
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2mV
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20mV
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200mV
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2V
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100mA
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10-4～10-3
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10-3
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10mA
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10-3～10-2
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10-1
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1mA
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10-1
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1～20
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10～50
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102～103
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100μA
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200～500
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103～104
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10μA
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105
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表3 电阻率测量时推荐的电流电压量程选择
2. 注意事项：
⑴测量电流值的调节，工作选择开关置于“I调节”位置，电流量程开关与电压量程开关必须放在表4所列的任一组对应的量程上。
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电压量程
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2V
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200mV
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20mV
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2mV
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0.2mV
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电流量程
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100mA
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10mA
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1mA
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100µA
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10µA
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表4 电流调节和自校时必须对应的电流电压量程
按下电流开关，调节电流电位器，可以使电流输出在0～10.00范围内，调到数字显示出测量所需要的电流值（例6.28，4.53等）。当电流调节电位器的指针盘上的刻度旋转到100时数字显示为10.00，是相应电流量程的满度值。电位器指针显示的数值是粗略的电流值，准确的电流值应由数字表显示读出。在调节好某一量程电流输出值后，其它各量程的电流会按此比例数字输出，不同量程的电流值的显示允许相差±2字。一旦电流值调节好后，不必每次测量都调节，只需观察电流调节电位器指针是否处于对应的位置即可。
⑵仪器自校，仪器内部装有精度为0.02%、阻值为19.96Ω的标准电阻，供校验主机中数字电压表和恒流源的精度之用。
自校时，工作选择开关置于“自校”位置，电流量程开关和电压量程开关按表4设置。
调节好电压表零位，按下电流开关则数字显示板显示出“199×”，各量程数值允许相差±4字，如果数值超差，可以调节机内压板上“I调节”窗孔内的电位器，使数字恢复到“199×”值。
⑶棒状、块状样品电阻率测量，按测量步骤进行，由表（5-3）选择电压电流量程。
若将电流I值调节到与C相等，（C≈6.28。C为探针修正系数。）则ρ=V，显示值等于样品的电阻率值。
⑷薄片电阻率测量，按测量步骤进行，根据表3选择电压和电流量程。
当薄片厚度>0.5mm时，按公式（3-3）计算ρ。
当薄片厚度<0.5mm时，按公式（3-4）计算ρ。
⑸方块电阻测量，按测量步骤进行。电流电压量程按表1选择，当将恒流源输出电流I 值调至等于4.53时，此时从数字表上读出的数值再乘上10即为实际的方块电阻值。
⑹电阻（V/I）测量，用四端子测量线作输入线，按图5所示夹持好样品，按测量步骤进行；由表1选择适合的电流和电压量程；在“I”调节位置，将电流值调到该量程满度值（10.00）；再转至测量位置，此时数字表上读出的数值为样品的电阻值。
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