HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜,X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm,放大倍数由5×至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度,Z轴对焦采用一砖利光学“裂像指示器”,结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨,可测范围25 mm,精度高达1μm,配合特殊附件,测量分解度更可达0.5μm或0.1μm。
非接触式测量显微镜
对焦清楚后如下图:
应用实例:
技术规格: