HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍数由5×至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用一**光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm。
非接触式测量显微镜
对焦清楚后如下图：
应用实例：
技术规格：