标准化研究院生产的日立S3400N扫描电子显微镜

1、仪器简介:

英文名称：scanning electron microscope;SEM

定义1： 用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。

定义2： 应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

2、主要应用:

(1)生物：种子、花粉、**……

(2)医学：血球、病毒……

(3)动物：大肠、绒毛、细胞、纤维……

(4)材料：陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂……

(5)化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌) 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……)电子材料等。

3、设备照片:

日立S3400N仪器照片

日立S3400仪器结构图

4、仪器的主要特性：

二次电子分辨率：小于3.5nm(30kV，高真空)、小于10nm(3kV，低真空)，背散射电子分辨率：小于5.0nm(30kV，低真空);

放大倍数：20倍～300000倍;

真空度：高真空≤1Pa，低真空：6～270Pa;

加速电压：0.5～30kV，连续可调;

图片存储：640×480～5120×3840pixels多种规格。

5、仪器的主要附件：

样品盘，样品盘螺丝，锁扣，高度尺，BNC帽，C型镊子，死口板子，一字微型螺丝刀，内六角扳手，离子溅射仪，自动XY调节附件。

6、设备基本信息: