接触晶圆的吸笔盘面采用耐温等级更高、尺寸更稳定、密封性更好的Torlon PAI。
PAI 真空吸笔先比常用的 ESD PEEK吸笔头，可以使用在更高的工作稳定环境下，主要的特性优点：
1、在高达 275℃ 时仍具有优异的长期强度和刚度
2、出色的耐磨损性
3、从低温到 275℃ 都具有**的韧度
4、耐强酸和大部分有机物
5、固有的阻燃性
6、低的线性热膨胀系数
李保龙：
QQ：502334884
官网：佳曼夫新材料www.chn-GIMIF .com
网上商城：佳曼夫新材料 shop14.1688.com
微信公众号：chn-GIMIF