P水平轴 (X) 参数
行程长度 0.1 mm up to 130 mm / 260 mm
定位速度 0.02 mm/s up to 200 mm/s
测量速度 0.02 mm/s to 10 mm/s
粗糙度测量推荐: 0.1 mm/s to 0.5 mm/s
测量点间隔 0.05 µm up to 30 µm, 可调
点距 £ 100 nm / 400 mm
一次测量的*大点数 2.6 百万点 (MarSurf LD 130)
5.2 百万点 (MarSurf LD 260)
分辨率 0.8 nm (0.03 µin)
X-axis 显示不确度 ± (0,2+l/1000)µm; l in mm
系统噪音 < 5 nm RMS 表面粗糙度 < 5 nm
自动旋转驱动器 > ± 45°
测臂系统参数 (测量方向Z+ / Z-)
测针量程 13 mm (1 in) (100 mm 测臂)
26 mm (2 in) (200 mm 测臂)
测力 0.5 mN up to 30 mN (电控可调)
高精度转轴 (3D 版本)
径向误差 ± (0.01 + 0.00025H) µm; H 为始于台面的高度
轴向误差 ± (0.02 + 0.0001R) µm; R为始于轴心的半径
分辨率 0.00025°
定位控制 < ± 0.02°
调心精度 < 0.8 µm
调平精度 < 0.006°
轮廓 – 显示误差
长度距离测量 EA MPEEA = ± (1.0+l/150)µm, l in mm
半径测量 RK
R < 10 mm: MPER = ± 1.0 µm
10 mm < R < 300 mm: MPER = ± (0.17+R/12) µm R > 300 mm: MPER = ± (-18+R/7) µm
形状误差 £ 100 nm
坡度 < 90°
真实 3D 测量
测量时间 典型 5 到10 分钟
曲率半径 凹面极限 > 测头半径 (~10µm)
采点密度 典型: 线性2 µm, 圆周0.1° 3D: 圆周轨迹数量 + 插值
驱动器带有可自动找心的Y轴 所有回转对称的测量对象:
- 参考曲线 (可导入,例如 *.xyz)
- 非球面公式,包括奇数项系数dd confidents