柱面测量用补偿器
柱面透射衍射镜片
-客户定制，设计布局主要／可调整区域
-兼容干涉仪标准卡口
-集成了斐索标准平面
-集成cat-eye光束，可测量顶点曲率半径
-地形数据，用于校准斐索平面
-补偿器为定制品，客户需提供：
被测镜片图纸
干涉仪类型
标准镜口径
标准镜F数面形精度
接口尺寸
2英寸，4英寸，6英寸，12英寸
有效区域
直径<220mm
调整功能
两套Cat-eye 光束
F数
*小f数0.5
测量精度
<PV 1/20 lambda
曲率测量
相对精度，高达5＊10-5，需要用Cat-eye 光束