GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N 郑州市平山贸易有限公司

GasShield® 垫片过滤器

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产品名称：GasShield® 垫片过滤器
产品型号：GSG-V4-1-N
产品展商：美国MOTT
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简单介绍

美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N 美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N 美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N

产品描述

美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N 详询电/微韩
产品规格产品编号：2324100
产品规格
工作条件
» 惰性气体的*高工作温度：450°C
» *大压差：1000 psid 正向或反向（68.9 barg）
材料
» 硬件：316LSS 或镍
» 过滤介质：316L 不锈钢或镍
» 哈氏合金或定制材料联系我们
规格
颗粒去除粒径： ≥ 0.003 微米
氦气泄漏等级： 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献：根据 SEMI F27 测试方法，在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物：低于 SEMASPEC 90120396B 测试方法的可检测限值
颗粒脱落：根据 SEMI F43-0308 测试方法，高于本底的零颗粒贡献（<1 颗粒/立方英尺）
配件和尺寸
典型安装
零件描述流量等级（SLPM）过滤材料面密封垫片尺寸（英寸）元件长度（英寸）更换间隔
GSG-V4-1-N 系列 1 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-N 系列 3 镍 ¼ 3 系统相关
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 镍 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2N 系列 50 镍 ½ 1 系统相关
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不锈钢 ¼ 3 系统相关
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不锈钢 ¼ 1 系统相关
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不锈钢 ½ 1 系统相关
*提供定制设计和配件。

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