STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵
产品型号：STPA803C
产品展商：Edwards
产品文档：无相关文档

简单介绍

STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵 STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

产品描述

概述
Edwards STPA803C 涡轮分子泵是为半导体应用而设计的。Edwards 的转子可实现的性能和大的制程灵活性。STPA803C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了。

应用
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势
的转子
大的制程灵活性
无油
低振动
高度
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器

技術データ

入口法兰	ISO160F
	KF40
吹扫口	KF10
水冷却接头	PT1/4
抽速
N2	800 ls-1
H2	520 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	103
加热时的极限压力	10-7 Pa (10-9 Torr)
大连续压力	270 Pa (2 Torr)
大氮气吞吐量	1500 sccm
额定速度	32500 rpm
启动时间	7 分钟
高入口法兰温度	120 °C
输入电压	200 至 240 (± 10) V 交流
功耗	0.85 kVA
泵重量	39 kg
控制器重量	9 kg

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报

产品目录

产品资料

STPA803C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

技術データ