STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

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产品名称：STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵
产品型号：STPA1603C
产品展商：Edwards
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简单介绍

STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵 STPA1603C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵

产品描述

概述
小巧而的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 的转子进行设计。它提供极高的吞吐量、高的性和的性能，满足半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了性和性能。STPA1603C 已经在新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明，也能够满足 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。

应用
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势
的转子设计
改进的性能
更高的气体吞吐量
高度
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
防腐蚀
可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行

数据

入口法兰	ISO200F
	KF40
吹扫口	KF16
水冷却接头	PT1/4
抽速
N2	1600 ls-1
H2	1200 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>7 x 103
加热时的极限压力	10-7 Pa
大允许前级压力	266 Pa
	(2 Torr)
大氮气吞吐量	2500 sccm
额定速度	36500 rpm
启动时间	7 分钟
固定位置	任意
水冷却流量	2 lmin-1
温度	5-25 °C
压力	0.3 MPa
的吹扫气体流量	20 sccm
输入电压	200 至 240 (± 10) V 交流
功耗	0.85 kVA
泵重量	35 kg
控制器重量	9 kg

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