概述 MF100AE 油雾过滤器适用于从 E2M28 到 E2M80 之间的泵。在 DOP 测试中（预加湿过滤器；使用干滤芯时，为 99.5%），其效率达 99.85%。利用油位观察窗，可轻松监视油雾过滤器的状态。 MF100AE 是 MF100 的一种型号，适用于腐蚀性气体和蒸汽，在处理有毒物质时可提高性。在 DOP 测试中（预加湿；使用干滤芯时，为 98.4%），其效率达 99.1%。此型号测得的泄漏值为 1 × 10-4 mbar l s-1 / 3.8 x 10-3 Torr。滤芯、观察窗和密封件均能防化学攻击。MF100AE 配有丙烯酸树脂观察窗（适用于氟化制程）；该过滤器还配备了玻璃观察窗（适用于氯化制程）。 产品附带两个 NW25“C”形夹、NW25 弯管、两个 NW25 定心环和 O 型圈、螺栓、垫圈、安装托架和螺柱 订货号：A46211000
沪公网安备 31011702004253号
