EPX180L 爱德华半导体高真空干泵
EPX系列干式真空泵支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点站应用。
EPX系列干式真空泵以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构，能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。
EPX180L 爱德华半导体高真空干泵应用
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
EPX180L 爱德华半导体高真空干泵功能和优势 紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一，EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。 低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。 的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。 清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。 –EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX，具有13年的MTBFp(SEMI E10)，大约每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。 可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。
EPX180L 爱德华半导体高真空干泵数据
峰值速度 170 m3h-1 105 ft3min-1 2835 lmin-1 极限真空 <1 x 104 mbar <7.5 x 10-5 Torr <1 x 10-2 Pa 预热时间（达到标称性能） 30 分钟 入口法兰 ISO63 法兰 NW25 噪音 <59 dB(A) 水接头 3/8 in 快速 冷却水流速 2 lm-1 冷却水温度 15 – 35°C 电源供给 200/208 V，50/60 Hz 三相 极限功率 1.4 kW 电机额定功率 3.0 kW TIM C3 重量 43.5 kg
沪公网安备 31011702004253号
