iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards参数
iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards订购信息
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113010 iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷却水接头，PN：A54113020 iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113610 iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113710 iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113011 iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113221 iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113611 iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A5411
iXL 高性能干式真空泵机组 iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 涉及的排气要求。 这些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。 适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵 iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。 的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT) 仅仅 0.55kW 的功耗 有助于大程度减少客户成本 环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗 高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求 极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间 适用于严苛应用的大型 iXL 干泵 iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。 的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT) 仅仅 0.55kW 的功 耗有助于大程度减少客户成本 环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗 高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求 极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间 适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。 IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。 适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。 3 万亿次循环 MTBF 与原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70% 提供适用于现有 IPUP™ 的 插入式替换部件
沪公网安备 31011702004253号
