iH160 Edwards半导体干式真空泵

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产品名称：iH160 Edwards半导体干式真空泵
产品型号：iH160
产品展商：Edwards
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简单介绍

iH160 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。 iH160 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

产品描述

iH160 Edwards半导体干式真空泵概述

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

iH160 Edwards半导体干式真空泵应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议，请与 Edwards 联系。

iH160 Edwards半导体干式真空泵功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

iH160 Edwards半导体干式真空泵数据

峰值速度	165 m3h-1
	97 cfm
	2750 l min-1
极限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型轴封氮流量	4 slm
进气口连接	ISO63
连接	NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	244 kg
极限功率输入	3.1 kW
电机额定功率	5.0 kW
油容量	0.85 l

数字均为无气镇时的典型值。

iH160 Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相 A59010908
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59010945
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59010946
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59010957

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