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产品资料

iH160 Edwards半导体干式真空泵

iH160 Edwards半导体干式真空泵
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:iH160 Edwards半导体干式真空泵
  • 产品型号:iH160
  • 产品展商:Edwards
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
iH160 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。 iH160 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
产品描述


iH160 Edwards半导体干式真空泵概述

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。

iH160 Edwards半导体干式真空泵应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。


iH160 Edwards半导体干式真空泵功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。


iH160 Edwards半导体干式真空泵数据

峰值速度 165 m3h-1
97 cfm
2750 l min-1
极限真空 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO63
连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 120 l h-1
2 l min-1
重量 244 kg
极限功率输入 3.1 kW
电机额定功率 5.0 kW
油容量 0.85 l

数字均为无气镇时的典型值。


iH160 Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH160 干式泵 460V,60 Hz,3 相        A59010908 
iH160 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59010945
iH160 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59010946
iH160 干式泵 230V,60 Hz,3 相        A59010957



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