GX1000N 爱德华半导体干式真空泵

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产品名称：GX1000N 爱德华半导体干式真空泵
产品型号：GX1000N
产品展商：Edwards
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简单介绍

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。 GX1000N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

产品描述

製品概要
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载制程。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源

功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1

参数

绩效
峰值速度	800 m3h-1
	471 ft3min-1
	13333 lmin-1
极限压力	1 x 10-3 mbar
	7.5 x 10-4 Torr
	0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
功率	1.6 kW
AUC（有源设备控制器）	1.05 kW
水
水入口	2 slm
氮气	4 或 14 slm
安装详细信息
占地面积（不包括排气装置）	0.20 m2
重量	230 kg
进气口连接	ISO 100
出气口连接	NW25
极限噪音	<55 dB(A)

需要恒流阀附件

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵订购信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

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