iXH 干式工业级真空泵系统

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产品名称：iXH 干式工业级真空泵系统
产品型号：
产品展商：Edwards
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简单介绍

iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过提高制程性实现低成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的大容量干泵和增压泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以在严苛制程中具有大性。

产品描述

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过提高制程性实现低成本。
可满足 FPD、太阳能、半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的大容量干泵和增压泵系列。除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以在严苛制程中具有大性。
iXH 泵采用模块化设计，符合当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的应对计划。

应用

半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔

主要特性和优势
针对的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。

符合主要的标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。

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