SF6气体回收装置是用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂，使用运行科研等部门， 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入SF6气体，并从使用或试验的电器中回收SF6气体，同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。回收装置适用SF6电器及GIS组合电器等。SF6气体回收装置按照DL/T662-1999《六氟化硫充气及回收装置》标准，装置由回收系统、充气系统、抽真空系统、净化系统、气体贮存系统组成。
1、SF6气体的回收
当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。 ）
2、SF6开关抽真空
通过真空泵把开关中的空气及湿气可以抽除，真空泵的出口通向大气。
3、充气
经净化和干燥的SF6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到调定的工作压力。上述工作分两个步骤进行：
1、
借助SF6贮罐压力使气体流向SF6开关，直至达到预定的充气压力。
2、当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力。
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