型号
真空泵速率
HDQC-4
4L/S
HDQC-8
8L/S
HDQC-15
15L/S
HDQC-30
30L/S
HDQC-70
70L/S (选用罗茨泵机组)
HDQC-150
150L/S (选用罗茨泵机组)