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产品资料

百级无尘烤箱

百级无尘烤箱
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  • 产品名称：百级无尘烤箱
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简单介绍
百级无尘烤箱，制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。Class 100 Clean Ovens
产品描述

一．百级无尘烤箱用途:
PVC无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。


二．百级无尘烤箱特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到*佳温度控制精度。

型号  温度范围 内容积 其它参数 内尺寸
（W×H×Dmm） 		外尺寸
（W×H×Dmm）
PVC-178 (RT+60)～+200℃ 178L 洁净度：100级 580×530×580 770×1,280×1,025
PVC-380 (RT+60)～+200℃ 380L 洁净度：100级 580×1130×580 770×1,880×1,025
PVC-678 (RT+60)～+200℃ 678L 洁净度：100级 800×1130×750 1,030×1,880×1,025
PVHC-178 (RT+60)～+350℃ 178L 洁净度：100级 580×530×580 770×1,280×1,025
PVHC-380 (RT+60)～+350℃ 380L 洁净度：100级 580×1,130×580 770×1,880×1,025
PVHC-678 (RT+60)～+350℃ 678L 洁净度：100级 800×1,130×750 1030×1,880×1,210
PVHC-347MS (RT+60)～+300℃ 347L 洁净度：100级 580×1,130×530 770×1,880×1,025
PVHC-633MS (RT+60～+300℃ 633L 洁净度：100级 800×1,130×700 1,030×1,880×1,210

2、百级无尘烤箱箱体结构：
   烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
   箱体材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉丝不锈钢，并经碱性苏打水清洁，可防止微尘；
   内胆材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
   中桶材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。


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