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OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪
OTSUKA大塚主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价?检查。欢迎新老客户来电咨询!
OTSUKA大塚产品特点膜厚测量中必要的功能集中于头部。通过显微分光高精度测量绝i对反射率(多层膜厚、光学常数)。1点只需不到1秒的高速tact。实现了显微下广测量波长范围的光学系(紫外~近红外)。OTSUKA大塚通过区域传感器控制的**构造。搭载可私人定制测量顺序的强大功能。即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数。各种私人定制对应(固定平台,OTSUKA大塚OPTM,有嵌入式测试头式样)。
![](http://yt.yzimgs.com/ComFolder/200088071/image/202307/202307181912817601.png)
OTSUKA大塚头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率(多层膜厚度,光学常数)
1点1秒高速测量
OTSUKA大塚显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
区域传感器的**机制
易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪
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OTSUKA大塚OPTM-A1 | OTSUKA大塚OPTM-A2 | OTSUKA大塚OPTM-A3 |
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波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
光斑大小 | 10μm (*小约5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
电源規格 | AC100V±10V 750VA(自动样品台规格) | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
重量 | 约 55kg(自动样品台规格之主体部分) |
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪测量项目:
**反射率测量
多层膜解析
光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪测量示例:
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
OTSUKA大塚半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜,或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 OTSUKA大塚为了绝缘膜的性能和**的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。
OTSUKA大塚OPTM-A1,OPTM-A2,OPTM-A3显微分光膜厚仪,OTSUKA大塚OPTM-A1,OTSUKA大塚OPTM-A2,OTSUKA大塚OPTM-A3显微分光膜厚仪,