日本OTSUKA大塚OPTM系列光学膜厚仪半导体多层膜测试椭偏仪

显微分光膜厚仪 OPTM SERIES

●非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ●OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪，测试膜厚、折射率n、消光系数k、**反射率的新型高精度、高性价比的分光膜厚仪。适用于各种可透光膜层的测试，并有****可针对透明基板去除背面反射，从而达到“真实反射率、膜厚”测试的目的。此外，软件操作简单、使用方便且简化了复杂的建模流程

非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的**反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

● 独立测试头对应各种inline定制化需求

● *小对应spot约3μm

● ****可针对超薄膜解析nk

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