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西南供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统
供应日本日立HITACHI基于设计数据的计量系统
的详细介绍
提高生产性以及测量程式质量
可不使用晶片及测长SEM,离线作成测量程式
可仅通过制定计测点及测长方法,自动作成测量程式
可不依赖于操作者的技术,作成统一质量的测量程式
采用服务器&客户端方式
利用设计数据自动作成测长SEM测量程式
「DesignGauge-Analyzer」特点
对CG5000中取得的SEM图像进行再次测长
具备可通过SEM图像查阅及表格形式进行测长结果确认等数据分析功能
使用测长算法的Contour(模型形状的轮廓线)提取功能(Contour:可选功能)
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日本日立HITACHI,高解析度FEB测量装置,绵阳供应
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