日本NIKON尼康 CNC视频图象坐标测量仪
NEXIV VMR-K3040ZC产品叙述:
这是一款共聚焦(Confocal)型的视频图象坐标测量仪，它能够在同一视场内，同时完成二维平面和一维高度的高精度测量。高速、高精度地检测*先进的IC封装的立体形状。
明场
共聚焦
合成效果 应用领域：
硅片级芯片封装(二维＋高度)、MEMS、Probe Card等。
特點
領先業界之非接觸式影像/Laser量測系統 新開發之大面積高度資訊探測功能分析應用 高精度之高度量測 重複��度: 0.35um (with 3X and 2 σ) 測高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
物鏡選擇
倍率
1.5x
3x
7.5x
工作距離(W.D.)
24mm
5mm
Confocal optics (測高範圍)
*大測高距離
1mm
視野
8mm x 6mm
4mm x 3mm
1.6mm x 1.2mm
Z 軸重複性 (2σ)
0.6μm
0.35μm
0.25μm
粤公网安备 51012402000291号
