自动滑动晶圆(也可以手动输入)。SEMI标准载体之间的水平批量转移。节省空间的桌面类型。
●SEMI标准载体间的水平批量转移。 ●节省空间的桌面型 ●当载体设置不正确时,传感器会停止传输。(AWT) ●在传输过程中检测到过电流时,传输臂停止以避免损坏晶圆。(AWT) ●200MM(AWT200,MWT200)或150毫米对应���(AWT150,MWT150) 对应于●自动(AWT200,AWT150)或手动(MWT200,MWT150)。
渝公网安备 50019002501360号