这是一种管式炉高温热CVD系统,适用于在大学和研究机构用石墨烯等烃类化合物开发各种材料。小型和小型测试件尺寸减小,因此可以通过简单的操作制造,同时实现了大大降低成本。 另外,它具有5至100Pa的压力控制功能,由于困难而在过去被认为是困难的,使得可以处理更多种处理模式。对于易燃碳氢化合物易燃气体,我们通过报警检测设备停止,**装置,如常压释放气体稀释装置。
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