使用CKD原始成型波纹管的特殊结构实现了长寿命和高耐用性。 高真空阀,可靠性高,易于使用。 行业类别 半导体制造工艺(前一工序) 半导体制造工艺(后期制造)
[寿命长,耐用性高](第7部分) 标准型号,原始结构,使用寿命长,可用性提高。 由于成型波纹管的形状优化而具有高耐久性。 铝体采用减轻重量。 压倒性的耐久性,性能值为300万次(在我们指定的条件下)。
【改善安装和管道自由度】(第7部分系列) 可在4个方向的任何位置选择操作端口。 超小型开关可以安装在四个侧面,用于运动位置检测。
[使用寿命长,产生的粉尘少](第3部分系列) 膨胀整体成型方法,流路流线型,表面光滑,无气体堆积。 长寿命成型波纹管。 SUS体型。
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