扫描探头由平行板簧，使用差动变压器的位移测量系统和独立的夹紧机构组成，在精度，再现性和功能方面具有突出的特点。通过多种测量采集方法，它几乎无限地适用于3D测量中的测量项目。

CMM精度的一致概念是错误消除和纠正。诸如引导线，比例尺和正交性之类的系统错误要经过计算机准确的CAA（计算机辅助精度）检查。那时，对探测球的中心点进行校正，并将导板的笔直度误差细分为64个网格，并通过计算机执行精度校正（FineCAA）。
此外，静态挠度校正（S-CAA）可以校正由于施加到每个部件（例如测量仪器主体和测针）上的测量力而引起的位移误差，而动态挠度校正（D-CAA）可以校正由于在测量运动期间施加的加速度而引起的位移误差。 ）也实时进行。这样可实现极高的测量精度。

对于使用辉光表的桌子，可以进行数字校正，例如，即使可以阻止散热，也可以生成热梯度。通过安装在工作台上下表面的多个温度传感器检测温度，并扩展了使用CAA的校正方法以校正由于温度变化引起的变形。

参考刻度使用的玻璃陶瓷的每个轴的热膨胀系数为0±0.05×10-6·K-1。换句话说，它保证了几乎不受温度变化影响的*佳热性能。