概要
气体质量流量计（Mass Flow Meter，简称MFM）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。
本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJT10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。
MFC/MFM出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分)
标准状态规定为：温度---273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg）
F.S.（Full Scale）：满量程值
产品特点
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟数字信号转换器（ADDA转换器）配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。
输入输出信号
0～+5.00V (无输入信号，输出电流不大于3mA)
应用行业
化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。