探针型号功能和探针台应用

一．T-4 系列软针

T-4-10型探针的钨材质针尖在

扫描电镜下的成像

T-4 系列软针较多的应用于点测集成电路的线路，电极，或者FIB（聚焦离子束） 制作的mini电极。

T-4系列软针的结构采用不同直径钨材质针须焊接于镀锡的铜材质针杆上。

其中T-4-10和T-4-22两款是客户反馈比较有优势的型号，因为其针须直径较细，具有良好的弯曲弹性，能够极大的减少对芯片电极的损害，在部分震动环境下面也能够保证和电极的良好接触。

T-4 软针不建议在敏感节点使用，因为会产生电容负载的问题，在此环境下，建议使用高阻抗Picoprobes系列。

图1

T-4 系列

型号 钨材质针须直径 针尖直径 针须长度

T-4-5 5 规格微米 <0.2微米 0.13" （3.3mm）

T-4-10 规格10微米 <0.2微米 0.13" （3.3mm）

T-4-22 规格22微米 <2.0微米 0.20" （5.1mm）

T-4-35 规格35微米 <4.0微米 0.20" （5.1mm）

T-4-60 规格60微米 <6.0微米 0.20" （5.1mm）

T-4-125 规格125微米 <10.0微米 0.20" （5.1mm）

图2

T-4 系列尺寸图

图3

二．ST 系列硬针

ST 系列硬针是0.020 inch （0.51mm） 直径钨材质针杆经过精密电化学加工成为不同的针尖直径，长度为1.5inch（38.1mm）的。这种应用与绝大多数的芯片电极点测和线路点测。

ST系列硬针可以用于与刮擦或者刺穿芯片表面钝化层。该可以选择表面镀镍，如果选择镀镍则型号后面增加“NP”。

ST系列硬针

型号 针杆直径 针尖直径

ST-20-0.5 规格0.020" （0.51mm） <1 微米

ST-20-1.0规格 0.020" （0.51mm） <2.0微米

ST-20-2.0规格 0.020" （0.51mm） <4.0微米

ST-20-5.0 规格0.020" （0.51mm） <10.0微米

ST-20-10.0 规格0.020" （0.51mm） <20.0微米

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

经济手动型

根据客户需求定制

chuck尺寸：4"*4"或 6"*6"或 8"*8" 或12"*12" (可选）

X-Y移动行程：4"*4" 或6"*6" 或8"*8" 或12"*12"(可选）

chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离

显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）

显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）

探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关

可搭配Probe card测试

适用领域：晶圆厂、研究所、高校等

仪准科技致力于失效分析设备研发及测试服务：手动探针台probe，激光开封机laser decap，IV自动曲线形测仪，微光显微镜EMMI,红外显微镜