FS-H系列 气动波纹管泵 IWAKI 易威奇
FS系列
产品特点
高速行程：通过*大化泵冲程（*大240 spm），我们实现了小尺寸，重量轻，低成本和减少脉动。
无污染：氟树脂用于所有润湿部件。它的设计没有金属暴露，如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。此外，采用我们专有的轴封（PAT。）进一步减少了颗粒的出现。
液体温度范围广·高压放电：由于液体温度范围为5至180℃，并且排出压力可以达到*大0.45MPa，因此它不仅可以用于清洁工艺和CMP工艺，而且可以用于复合工艺。
产品规格
排放量
55 L/min
供气压力
0.5 MPa
耗气量
670 NL/min
行程数
200 spm
主要材质
PTFE, PFA
液温范围
5～180℃