FLP-75W 气动低脉动波纹管泵 IWAKI 易威奇
FLP-75W
产品特点
低脉动：根据激光位移传感器和接近开关的信号，控制器始终跟踪波纹管的位置。通过控制器判断左右波纹管的*合适相位覆盖量，并通过切换电磁阀来减小脉动。
优异的负载跟随性，适用于单晶圆工艺：通过执行相位控制改善了负载波动的可跟随性。特别是在频繁发生压力波动的生产线中，例如单张纸加工，其高负荷跟随能力实现了排出量和排出压力的稳定操作。
无需阻尼器，节省空间：由于不需要安装阻尼器，因此实现了装置的节省空间。管道工作也很容易，可以减少昂贵的管道材料，如氟树脂配件，有助于更小更轻的设备。
**设计：波纹管焊接结构可防止液体泄漏，即使波纹管破裂，也会采用检测漏液的泄漏传感器，因此您可以放心使用。
产品规格