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产品资料

KASHIYAMA 樫山工业-干式真空泵-SDL80201

KASHIYAMA 樫山工业-干式真空泵-SDL80201
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:KASHIYAMA 樫山工业-干式真空泵-SDL80201
  • 产品型号:SDL80201
  • 产品展商:Kashiyawa 樫山工业
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
KASHIYAMA樫山工业-干式真空泵-SDL系列 型号:SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
产品描述

KASHIYAMA 樫山工业- 干式真空泵 -SDL系列

支持放大晶圆和FPD

通过组合可以实现大排量。 能满足150,000升/分钟以上的要求

时间缩短

通过确保大气侧排气速度,高速抽空大型负载锁定室

主要型号

仕様 / 型式

SDL12E50

SDL20E50

SDL36M60

SDL40E60

SDL40E201

SDL40EW201

SDL80201

*大排气速度
[L/min]*1

25,000

50,000

60,000

70,000

80,000

150,000

170,000

达到压力
[Pa]*1

0.8

0.5

0.8

5.0

电源电压
(50/60Hz)

3相 AC200~220V, 380~480V

3相 AC380~440V







* 1.不使用N 2吹扫时的值。

排气性能曲线

*排气性能曲线将被组合来改变。 














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