KASHIYAMA 樫山工业- 干式真空泵 -SDL系列
支持放大晶圆和FPD
通过组合可以实现大排量。 能满足150,000升/分钟以上的要求
时间缩短
通过确保大气侧排气速度,高速抽空大型负载锁定室
主要型号
仕様 / 型式 SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201 *大排气速度 [L/min]*1 25,000 50,000 60,000 70,000 80,000 150,000 170,000 达到压力 [Pa]*1 0.8 0.5 0.8 5.0 电源电压 (50/60Hz) 3相 AC200~220V, 380~480V 3相 AC380~440V
仕様 / 型式
SDL12E50
SDL20E50
SDL36M60
SDL40E60
SDL40E201
SDL40EW201
SDL80201
*大排气速度 [L/min]*1
25,000
50,000
60,000
70,000
80,000
150,000
170,000
达到压力 [Pa]*1
0.8
0.5
5.0
电源电压 (50/60Hz)
3相 AC200~220V, 380~480V
3相 AC380~440V
* 1.不使用N 2吹扫时的值。
排气性能曲线
*排气性能曲线将被组合来改变。