KASHIYAMA 樫山工业- 干式真空泵 -SDE系列
特征
*高抽速可达200,000 L / min级 适用于大型晶圆/ FPD基板 所有流程兼容对应于任何进程
主要型号
排气性能曲线
*排气性能曲线将被组合来改变。