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产品资料

SMC-工艺气体用元件-膜片阀 高纯度工艺气体用 气控型AP系列

SMC-工艺气体用元件-膜片阀 高纯度工艺气体用 气控型AP系列
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  • 产品名称:SMC-工艺气体用元件-膜片阀 高纯度工艺气体用 气控型AP系列
  • 产品型号:气控型AP系列
  • 产品展商:SMC 西姆斯
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简单介绍
SMC-工艺气体用元件-膜片阀 高纯度工艺气体用 气控型AP系列 ・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。 ・可作为气体的切断阀使用。 ・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。
产品描述
膜片阀 高纯度工艺气体用 AP


・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧,驱动部也使用膜片隔离,因此减小了气路的死区,抑制了粒子的产生。
系列 形式 主体材质 配管连接 配管尺寸
AP 气控型 SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP 小型 SUS316L
二次熔炼
面密封接头
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''

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