真空泵

シリーズ

ポンプ形式

排気速度（ℓ/min）

到達圧力（Pa）

TD

スクリュー式ドライ真空ポンプ

650 to 3000

to 0.7

【備考】シーケンサ制御タイプ

BEH

スクリュー式ドライ真空ポンプ

7000 to 30000

to 0.08

TRIC

スクリュー式ドライ真空ポンプ

30000 to 60000

to 0.08