真空泵

シリーズ

ポンプ形式

排気速度（ℓ/min）

到達圧力（Pa）

カタログ

MDP-V

スクリュー式ドライ真空ポンプ

5500 to 22000

to 0.5

【備考】省エネ仕様

MDP

スクリュー式ドライ真空ポンプ

1100 to 35000

to 0.7

SLT

スクリュー式ドライ真空ポンプ

1100 to 3000

to 0.7

TRDS

スクリュー式ドライ真空ポンプ

to 35000

to 0.7

【備考】メカニカルブースター装備式