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真空设备

真空设备
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:真空设备
  • 产品型号:DQ
  • 产品展商:PHIL佐藤真空
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
① 炉内・ワーク温度(分布)測定ユニット : 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計 ② 急速冷却ユニット : 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管 ③ パッキン保護水冷ユニット(300~650°C仕様) : 扉パッキン部、ヒーター・熱電対導入口パッキン部
产品描述
① 炉内・ワーク温度(分布)測定ユニット : 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷却ユニット : 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300~650°C仕様) : 扉パッキン部、ヒーター・熱電対導入口パッキン部
シリーズ 槽内寸法
mm
*高温度範囲
加熱方式 槽内到達圧力*1
Pa
真空排気系 操作方式
DQ*2 S 300□~1000□ 200 外部加熱 ×101 手動
P 油回転真空ポンプ
DY P 400□~2000□ 300~650 内部加熱 ×101 油回転真空ポンプ 自動
MP ×100 油回転真空ポンプ
メカニカルブースタ
DH DP 400□~1500□ 300~650 内部加熱 ×10-3 油回転真空ポンプ
油拡散ポンプ
自動
TP ×10-4 油回転真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
*1:ベークアウト後無負荷常温での値です。
*2:DQシリーズでは*高温度350~650℃(内部加熱式)の自動操作仕様も製作可能です。

システム構成例


① 炉内・ワーク温度(分布)測定ユニット : 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷却ユニット : 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300~650°C仕様) : 扉パッキン部、ヒーター・熱電対導入口パッキン部

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