真空设备 HSV-8-50 岩濑自动化机械设备（武汉）有限公司

真空设备

简单介绍

佐藤真空

产品描述

本シリーズは研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置です。また、本シリーズの一部機種には電子ビーム（ＥＢ）の搭載も可能です。

型　　式	HSV-3-30G	HSV-8-50		HSV-12-80
到達圧力	×10^-3Pa			×10^-4Pa
基板加熱温度	-	Max 300℃
蒸発源（電極）	2対 10V Max150A			2対 20V Max200A
バルブ操作	手動	自動	手動	自動	手動
真空槽	φ300×H300mm 透明ガラス	φ500×H500mm（水冷式） SUS 304		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式 SUS 304
回転機構	-	公転機構		自公転機構
内部機構	シャッター機構、抵抗加熱機構	シャッター機構，加熱ヒーター,抵抗加熱機構
主ポンプ	油拡散3inches	油拡散8inches		油拡散12inches又はクライオ
補助ポンプ	150L/min	500L/min		1500L/min
主バルブ	3inches	8inches		12inches

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