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产品资料

真空设备

真空设备
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：真空设备
  • 产品型号：SRC-100V
  • 产品展商：PHIL佐藤真空
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
研究開発
产品描述

■研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸着のユニットがあります。

研究開発用ロールコーター

主仕様

到達圧力 ×10‒5 Pa
真空計 BAゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ W100mm×L200ｍ×t 50～100um
送り速度 0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 　Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜
ロールコーン φ250　水冷式
軸シール 磁気シール使用
成膜前プラズマ処理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 ① 70×200　ＤＣマグネトロン型　　×２式まで
② 抵抗蒸発源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
プロセスガス Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
ユーティリティ ・AC200V 3φ 100A 　　・冷却水
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