ANLET安耐特/单段式真空泵/ST1系��

後段真空ポンプの選定について

メカニカルブースタの性能は後段真空ポンプの機種・性能によって変化します。したがって、メカニカルブースタを用いた排気系を構成する場合には所要の目的に*も適した後段真空ポンプを選定する必要があります。後段真空ポンプの排気容量は操業圧力、運転時間の長短等によっても異なりますが、一般的にメカニカルブースタの1/2～1/10程度が適当です。操業圧力が比較的高い連続運転時には大容量の後段ポンプを。また、高真空で連続運転する場合には小容量の後段ポンプとします。