IWAKI 易威奇/驱动计量泵

IWAKI 易威奇/驱动计量泵PDS-105R       产品特点：

●大幅度的省抗蚀剂
由于驱动源使用的是高扭矩步进马达，因此即使由于过滤器的堵塞和粘度变化导致排出负荷增加，

排出量也几乎不会减少，维持高的排出量精度

•喷出精度：±0.3%（F.S.）
•直线性：±0.5%（F.S.）
•分辨率：0.01mL
●无污染
泵部采用了内表面平滑、死区体积小的管板结构。几乎没有抗蚀剂液的滞留部，可以防止粒子的产生
●支持多种涂层工艺
由于可以在1个镜头内任意改变喷出速度，所以可以对应微量、短时间涂布等多种抗蚀剂涂布工艺
●缩短停机时间

IWAKI 易威奇/驱动计量泵PDS-105R       产品参数：