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产品资料

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/��胶机

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机
  • 产品型号:SB系列
  • 产品展商:IWAKI易威奇
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列,适合半导体制造工艺中的抗蚀剂涂覆工艺。
产品描述

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列     产品特点:

●高精准度

准确测量和分配光刻胶和其他化学溶液

轻巧紧凑的设计

接液部件材料包括不锈钢(SUS304)和氟树脂(PTFE、PFA)类型

具有优异的耐腐蚀性,并且不存在液体污染

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列     产品参数:

*大排放量 100mL/冲程
*大排出压力范围 0.05~0.1MPa
供气压力范围 0.15~0.5MPa
*大耗气量 1.0NL/行程
主要成分 SUS304/PTFE、PFA
液体温度范围 15~25℃

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