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产品资料

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机
  • 产品型号：SB系列
  • 产品展商：IWAKI易威奇
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列，适合半导体制造工艺中的抗蚀剂涂覆工艺。
产品描述

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列     产品特点：

●高精准度

准确测量和分配光刻胶和其他化学溶液

●轻巧紧凑的设计

●接液部件材料包括不锈钢（SUS304）和氟树脂（PTFE、PFA）类型

●具有优异的耐腐蚀性，并且不存在液体污染

IWAKI易威奇/气动波纹管泵/点胶机 SB系列     产品参数：

*大排放量 100mL/冲程
*大排出压力范围 0.05～0.1MPa
供气压力范围 0.15～0.5MPa
*大耗气量 1.0NL/行程
主要成分 SUS304/PTFE、PFA
液体温度范围 15~25℃

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