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产品资料

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵CFD系列
  • 产品型号:CFD-1T-B
  • 产品展商:IWAKI易威奇
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列,用于补充半导体工艺中的强酸和强碱清洗。
产品描述

IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列        产品特点:

●可控制圆晶清洗浓度的控制

优异的耐腐蚀性

所有接液部件均由氟树脂(PTFE、PFA、PCTFE)制成,与强酸、强碱、过氧化氢等化学溶液兼容


IWAKI易威奇/波纹管泵/化学补给泵 CFD系列        产品参数:

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供气压力 0.15~0.3MPa
*大耗气量 2.5NL/分钟 5.4NL/分钟
*大行程数 30次/分钟
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液体温度范围 20~60℃

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