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产品资料

半导体制造设备滑动部件润滑脂

半导体制造设备滑动部件润滑脂
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：半导体制造设备滑动部件润滑脂
  • 产品型号：Klüberalfa GR Y VAC 3
  • 产品展商：NOK KLUBER/NOK克鲁勃
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
产品描述

NOK KLUBER/NOK克鲁勃 半导体制造设备滑动部件润滑脂

特征

  • 蒸气压低，即使在高真空下油的蒸发也少
  • 优异的耐热性
  • 优异的氧化稳定性
  • 可用于多种橡胶和塑料
  • 不溶解或与许多化学品、溶剂和燃料发生反应


用途

  • 以下是高真空环境下使用的机器设备的轴承和滑动部件（油封、O型圈等）。
  • 半导体制造设备
  • 洁净室、溅射设备、真空冶金设备、电子显微镜
  • 真空泵、真空蒸发机、连续真空电镀设备


製品特性

評価項目 単位 条件 Klüberalfa GR Y VAC 3
基油 - - フッ素油
蒸気圧 Pa 20℃ 7.00E-11
外観 - - 白色
温度下限 ℃ - -20
温度上限 ℃ - 250
増ちょう剤 - - PTFE
ちょう度 - 60W, 25℃ 3号
この製品に関する注意事項はこちらをご覧ください。

容量

100gチューブ、1kg樹脂容器

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