FLUORO福乐 非接触式晶圆传输卡盘

FLUORO福乐 非接触式晶圆传输卡盘 BC-K6-300

特点：

主体有20度、45度、90度三种手柄角度可选，平放的BC-K系列兼容2英寸至12英寸尺寸。（使用角度是固定的，不更换主体就无法改变。）

导向挡块具有平缓的锥度，因此它会在一点与晶圆的边缘接触。

导向环由防静电聚碳酸酯制成，可以目视确认定位和吸附状态。

主体采用导电尼龙树脂制成，以减轻重量。

其两面均印刷有图案，可以处理难以处理的50µm薄晶圆。