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Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
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Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
产品资料
Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
产品型号:
产品展商:
Symetrie
产品文档:
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简单介绍
NANOPOS六轴并联定位台 Nanometer resolution miniature hexapod
产品描述
水平运动分辨率10nm
角度运动分辨率1μrad
负载达500g
中间位置高度68mm
主要参数
NanoPos
运动及定位
行程Tx,Ty(mm)
±5
行程Tz(mm)
±4
行程Rx,Ry(deg)
±7
行程Rz(deg)
±10
分辨率Tx,Ty(nm)
10
分辨率Tz(nm)
10
分辨率Rx,Ry(μrad)
1
分辨率Rz(μrad)
1
重复精度Tx,Ty(nm)
±75
重复精度Tz(nm)
±75
重复精度Rx,Ry(μrad)
±2
重复精度Rz(μrad)
±2
机械特性
负载(kg)(垂直方向/水平方向)
0.5
电机类型
陶瓷电机
NanoPos
其它特性
工作温度(℃)
+5~+40
材料
铝,铟钢,陶瓷,不锈钢
运动台面(mm)
Φ70
中孔(mm)
Φ32
中间位置高度(mm)
68
质量(kg)
505
线长(m)
1.2
可选项
用户可以定制平台面;更大行程;真空兼容;无磁应用;尺寸可扩展
控制器
控制类型
CAPELLA
接口
Ethernet,USB,串口(RS-232)
输出功率
110-240 VAC/ 50-60Hz
尺寸图
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