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产品资料

Symetrie Nanopos 6-D Hexapod

Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：Symetrie Nanopos 6-D Hexapod
  • 产品型号：
  • 产品展商：Symetrie
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
NANOPOS六轴并联定位台 Nanometer resolution miniature hexapod
产品描述



  • 水平运动分辨率10nm
  • 角度运动分辨率1μrad
  • 负载达500g
  • 中间位置高度68mm

  • 主要参数


NanoPos
运动及定位
行程Tx,Ty(mm) ±5
行程Tz(mm) ±4
行程Rx,Ry(deg) ±7
行程Rz(deg) ±10
分辨率Tx,Ty(nm) 10
分辨率Tz(nm) 10
分辨率Rx,Ry(μrad) 1
分辨率Rz(μrad) 1
重复精度Tx,Ty(nm) ±75
重复精度Tz(nm) ±75
重复精度Rx,Ry(μrad) ±2
重复精度Rz(μrad) ±2
机械特性
负载(kg)(垂直方向/水平方向) 0.5
电机类型 陶瓷电机
NanoPos
其它特性
工作温度(℃) +5~+40
材料 铝，铟钢，陶瓷，不锈钢
运动台面(mm) Φ70
中孔(mm) Φ32
中间位置高度(mm) 68
质量(kg) 505
线长(m) 1.2
可选项 用户可以定制平台面;更大行程；真空兼容；无磁应用；尺寸可扩展
控制器
控制类型 CAPELLA
接口 Ethernet，USB，串口（RS-232）
输出功率 110-240 VAC/ 50-60Hz

尺寸图

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