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○ 产品介绍
TN-PSP180G-TA小型单靶等离子溅射镀膜仪采用二级溅射方式,低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。
○ 适用范围
广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。
○ 产品特点
1:二级低温等离子体溅射工艺
2:PLC控制系统,全部触摸屏操作。
3:体积小巧造型美观。
○ 技术参数
产品型号 |
TN-PSP180G-TA |
外形尺寸 |
500×320×470mm |
重量 |
30kg |
电源 |
220V 50Hz |
输入功率 |
1500W(含真空泵) |
输出电压 |
1200V DC |
输出电流 |
50mA(Max电流) |
镀膜腔尺寸 |
Φ180×210mm |
样品台尺寸 |
Φ100mm 可选购加热型样品台,温度可高达500℃,*长溅射时间不可超过5分钟 |
真空泵 |
双极旋片真空泵,1.1L/s(4m3/h) |
进气口 |
装有精密可调针阀,得以方便的调节进气量 |
靶材尺寸 |
Φ50mm,厚度0.5~3mm |
靶材材质 |
可选Au、Ag、Pt、Cr、Ni |
包装 |
三合板木质包装 |
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