企业信息
第7年
- 入驻时间: 2018-07-05
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产品详情
简单介绍:
小型样品台往复单靶磁控镀膜仪是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,该小型样品台往复单靶磁控镀膜仪配150W直流电源,可用于金属溅射镀膜。
详情介绍:
小型样品台往复单靶磁控镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备,具有小型化、标准化的特点。磁控靶有1英寸、2英寸可以选择,客户可以根据所镀基板的大小自主选择;所配电源为150W直流电源,可用于金属溅射镀膜。镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。仪器标配先进的涡轮分子泵组,极限真空可达1.0E-5Pa,同时另有其他类型的分子泵可供选购。
名称 |
小型样品台往复单靶磁控镀膜仪 |
特点 |
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技术参数 |
振动值 ≦0.1um、 启动时间 ≦4.5min、 停机时间 <7min、 冷却方式 水冷+风冷
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