概要: MT-50A系列气体质量流量控制器(Mass Flow Controllr ,简称MFC)利用温差量热法原理,可对气体的质量流量精密测量和控制,用这种方法测出来的气体流量可以忽略温度和压力的影响. 本产品采用中国人民共和国和电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用的技术条件和命名方法
特点: 模拟式热质式流量计/流量控制器: 环境温度补正 可应用的流率范围广: 0~30, 50, 100, 150, 200SLM
应用: 工业设施的气体供应监测/控制。 气体分析设备。 固定气体流量控制。 气体混合或分离设备 精度±2%F.S 可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能 国际兼容
标准: MFC出厂长用(N2)标定质量流量的单位规定为SCCM(标准毫升/分)SLM(标准升/分) 标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa (760mmHg)F.S(Full Scale):满量程
输入输出: 输入设定电压…………4~20MA 输出电压检测…………4~20MA 供 电 要 求 …………24VDC 流量范围是以mL/min,L/min 为单位 例: 5mL/min 表示为005 500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L
功能
流量计/控制器
基本型号
MT-50A
标准量程
SLM
0~ 50, 100, 150, 200,
精度
±2%
控制阀动作型式
常闭式
线性(%F.S.)
±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.)
±0.2
响应时间(sec)
≤1
流量输出信号
4-20MA
流量设定信号
电器接头
DB15 pin(接头)
工作环境温度
(℃)
5~45
工作压差
(MPa)
0.1~0.5
漏率
SCCSHe
1×10-8
******耐压
3MPa
介质接触材质
304,316,316L
密封材料
氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头尺寸
VCR 1/4、1/2 8mm 、10mm、12mm
Swagelok1/8”、1/2”或φ12mm
电源要求
24VDC
重量
1.5KG