产品性能
MC & MCR 系列质量流量控制器
精度(调零后标准条件下)
± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度选配(调零后标准条件下)
± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(选配)仅适用于量程为 5SCCM ~ 500SLPM 的设备
重复性
± 0.2% F.S
零点漂移&满量程漂移
0.02% F.S / ºC / Atm
工作范围 / 量程可调比
0.5% ~ 100% F.S / 200:1
******可控流量
102.4% F.S
典型响应时间
100 毫秒(可调整)
启动预热时间
< 1 秒
运行工况
标准工况 (STP)
25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)
工作温度
−10 ~ +50 ºC
工作湿度范围 (非冷凝)
0 ～ 100%
内部******工作压力(静压)
145 psig
极限压力
175 psig
对安装方式/方向的要求
MC: 无
MCR: 阀门须垂直安装
阀门状态
阀门常闭
防护等级
IP40
材质
MC: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝, 416不锈钢, 镍, 硅, 玻璃若有特殊材质需求，请联系艾里卡特®
通讯 / 电源
单色/彩色 LCD 显示屏
同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
可选数字输入/输出信号 1
RS-232 / RS-485 / Modbus / PROFIBUS3
可选模拟输入/输出信号 2
0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA
**道模拟输入/输出信号 2 (选配)
电信号接口
8 针 Mini-DIN / DB9 / DB15 / 6 针工业接头
供电电压
MC: 12 ~ 30 Vdc (4-20 mA 信号输出须 15-30 Vdc )
MCR: 24 ~ 30 Vdc
供电电流
MC: 0.250 Amp
MCR: 0.750 Amp
1. 数字信号输出质量流量、体积流量、压力和温度。 2. 模拟信号&**道模拟信号(选配)输出质量流量、体积流量、压力或温度。 3. 若选择 PROFIBUS，则无模拟信号。关于 PROFIBUS 设备供电电压与电流 PROFIBUS 和 Modbus 设备无屏幕显示。
产品特色
气体选择(Gas Select™) 5.0 版
气体选择(Gas Select™)5.0 版预置 98 种常用气体: 参见下页完整气体列表。 若您的气体不在标准列表中，请联系我们，艾里卡特®可订制多达八种气体成份的复杂混合气体。若为腐蚀性气体或制冷剂，请参见MCS 系列质量流量控制器。
气体编辑器(COMPOSER™)
气体编辑器(COMPOSER™) 为气体选择(Gas Select™)功能 5.0 版一大亮点，允许用户自定义 20 组混合气体，每组可混合 5 种气体。
各量程设备参数
满量程质量流量控制器
满量程压损 1 (psid) 排气到大气中
机械尺寸
管道连接接口 2
MC 0.5 sccm 至 50 sccm
1.0
3.9”H x 3.4”W x 1.1”D
M-5 (10-32) 母(内螺纹)3
MC 100 sccm 至 500 sccm
4.1”H x 3.6”W x 1.1”D
1/8” NPT 母
MC 1 slpm
1.5
MC 2 slpm
3.0
MC 5 slpm
2.0
MC 10 slpm
5.5
MC 20 slpm
20.0
MCR 50 slpm
5.5”H x 7.7”W x 2.3”D
1/4” NPT 母
MCR 100 slpm
3.2
MCR 250 slpm
2.4
1/2” NPT 母
MCR 500 slpm
6.5
5.5”H x 7.4”W x 2.3”D
3/4” NPT 母 (2000SLPM 可选配 1-1/4” NPT 母)
MCR 1000 slpm
14.0
MCR 1500 slpm
17.0
MCR 2000 slpm
28.6
5.5”H x 8.1” W x 2.9” D
MCR 3000 slpm
16.8
5.5”H x 8.9” W x 2.9” D
1-1/4” NPT 母
1. 另有 WHISPER 系列低压损质量流量控制器 2. 与Beswick®, Swagelok®管, Parker®, 表面密封, 快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR, SAE 接头相兼容。 3. Buna-N 表面密封至 1/8” NPT 母